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气动三联件伺服系统必须具备可控性好、稳定性高和适应性强等基本性能。交流伺服系统的性能指标可以从调速范围、定位精度、稳速精度、转矩波动、动态响应和运行稳定性等方面来衡量。
伺服系统性能
胶枪调速范围是指电机的最高转速与最低平稳转速之比。低档的伺服系统调速范围在1∶1000以上，一般的在1∶5000——1∶10000，高性能的可以达到1∶100000以上。定位精度取决于编码器的脉冲数与驱动器对编码器的倍频细分数，例如2048线的编码器，在其倍频数为2048的条件下，理论定位精度可以达到360°/(2048×2048)。 过去在测量技术比较落后的情况下，用户还采取附加措施来提高系统的精度，例如将测量元件(如自整角机)的测量轴通过减速器与转轴相连，使转轴的转角得到放大，来提高相对测量精度。采用这种方案的伺服系统称为精测粗测系统或双通道系统。
通过减速器与转轴啮合的测角线路称为精读数通道，袖套直接取自转轴的测角线路称为粗读数通道。稳速精度，尤其是低速(比如速度给定1r/min时)下的稳速精度，一般在±0.1r/min以内，高性能的可以达到±0.01r/min以内。通常情况下，一些驱动器还以其额定转速的百分数来作为速度精度，例如西门子伺服驱动器的理想速度精度通常为其额定转速的0.001%。
转矩波动也是衡量伺服系统性能的指标，它是由驱动器、电机以及负载共同决定的。性能优良的伺服系统其转矩波动要求在±3%的范围内。通常，衡量动态响应的指标是系统最高响应频率和上升时间。上升时间指当速度设定点突然变化到实际速度稳定在设定值±2%的范围的时间，其中包括系统的死区延迟。最高响应频率即给定最高频率的正弦速度指令，系统输出速度波形的相位滞后不超过90°或者幅值不小于71%(-3dB)。如图所示，X(t)与Y(t)信号分别为系统的输入与输出。
伺服系统
另外，从频域上分析，系统的带宽反映伺服系统跟踪的快速性。带宽越大，快速性越好。根据速度闭环的伯德图，可以得到系统的带宽。伺服系统的带宽主要受控制对象和执行机构的惯性的限制，惯性越大，带宽越窄。通常情况下，伺服系统的带宽会随着功率范围的增加而变小。目前大部分产品的速度频带在200——500Hz，少数产品可以达到更高，如三菱伺服电机MR-J3系列的响应频率声称可高达900Hz。
伺服系统
运行稳定性主要是指系统在电压波动、负载波动、电机参数变化、上位控制器输出特性变化、电磁干扰以及其他特殊运行条件下，维持稳定运行并保证一定的性能指标的能力。这方面我国产品(包括部分台湾产品)和世界先进水平相比差距较大。
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